数智化驱动 打造河南“芯”实力丨“链”出高质量

半导体是电子信息产业的基础。河南重点打造的智能传感器和半导体产业链上，特别注重加强协同创新，在专用设备、芯片设计、制造、封测等环节不断取得新突破，越来越多的“河南芯”成为制造业强省建设的新名片。

河南广电大象新闻记者 王艺轩：光刻机是制造半导体芯片的核心装备，处于半导体产业的最上游，它的工作原理就相当于一台复印机，是把信息通过光源映射在芯片上，这些芯片可用于电子设备和传感器的应用。

在半导体产业链的上游，如何在设备端提高电子芯片的质量呢？百合光电作为河南省唯一家特种光源研发制造企业，从制作芯片的光刻机入手，自主设计了光刻机的多个光学元件。

河南百合特种光学研究院有限公司研发总监 王艳军：这些零部件都是用在光刻机的照明光源系统上的，它的好坏在很大程度上决定了我们芯片的良率，比如说在芯片线宽和锐度等方面。

光刻机的核心部件，之前一直被国外垄断。为了增强自主研发产品的竞争力，百合光电入驻产业园区后，就一直在寻觅具有科研力量的合作伙伴。

河南师范大学物理学院副院长 于坤：因为现在我们主要做光学设计，光学镜头的设计。现在我们主要是来提高精度，改进现在的曝光机的指标参数，来提高它的性能。

强强联手，百合光电迅速与河师大建立了协同创新关系，园区也帮助设立了联合实验室，让校企双方有了同一技术阵地。校企合作以来，百合光电研发并量产的光刻光源，线条可以达到1微米的精度，替代了进口产品，先后开发30多款新产品，实现了大尺寸曝光光学系统国产化替代。有了好的光刻机，自然能生产出高端的芯片。

河南广电大象新闻记者 王艺轩：我现在是在新乡的芯睿电子，面前的这套压力传感器芯片可以实时监测外部的压力变化，已经应用到了航空航天、医疗、工业控制等领域。

在半导体产业链上，校企合作、平台搭建，各种协同创新已经成了常态。这家距离百合光电2公里的芯片制造公司，就与郑州中科集成电路与系统应用研究院合作，获批了“河南微电子中试基地”，专业生产各种传感器芯片，已经与省内30多家单位建立起合作关系，完备半导体产业链中游力量。

新乡红旗区先进制造业开发区管理委员会主任 李瑞祥：规划建设了半导体产业园、智能传感器产业园等载体平台。最终形成芯片制造为重点，IC封装集聚为基础，上下游协同创新为特色的区域半导体创“芯”高地。

近年来，河南省加快高能级平台建设，不断完善智能传感器互联网平台，持续推出智能传感器和半导体产业链发展的政策组合拳。今年前三季度，河南省智能传感器产业销售收入同比增长15%以上。

河南省科学技术厅副厅长 陶曼晞：在下一步工作中，我们将以项目为王，落实新型工业化建设要求，做大做强传统产业产品的基础上，发挥龙头企业和主机带动作用，实现产业垂直整合，实现新产品推广、新产业拓展、新赛道打造。

记者手记：芯片承载着人类最先进的科技。做成一个芯片，需要高纯度的半导体材料、成千上万台同时运转的工艺设备和充分的科研力量。近年来，我省半导体产业链多个环节不断实现由0到1的突破，企业也不断开辟新赛道，做国产替代，突破“卡脖子”关键技术。未来，半导体产业链上的各方力量一定会握指成拳，助力河南智能传感器和半导体产业链迈上新的发展快车道。