成果简介
准分子激光是重要的紫外波段激光光源,具有波长短、光子能量高、脉宽小、 空间相干性低等一系列特点,在诸多领域具有独特的应用,主要包括:工业领域的半导体光刻、平板显示器退火、精细加工;医疗领域的近视眼矫正和白癜风皮肤病治疗等医疗设备;科研领域的光谱学研究设备和材料学中的薄膜沉积制备等。
准分子激光自诞生以来,从研究走向应用,目前已经在工业、医疗、科研等领域发挥着不可替代的作用,并且还在不断开辟出新的应用领域。我国作为制造业大国对准分子激光器的需求巨大,然而,准分子激光器和准分子相关制造设备却长期几乎完全依赖进口。发展拥有自主知识产权的准分子激光器技术和相应的加工设备,对于缩短和消除我国在高端制造领域与世界领先水平的差距,对促进我国经济结构调整,提升整体经济质量具有显著的战略意义。
主要技术指标
输出激光波长:193nm、248nm、308nm、351nm 最大激光脉冲能量:800mJ(@248nm)
激光脉冲宽度:约 25ns
脉冲能量稳定性:<1% 应用领域
脉冲薄膜沉积、光纤光栅刻蚀、紫外精细打标
市场前景
该类仪器可广泛的应用于科研、工业和医疗等领域,且可作为关键部件集成大型激光系统中,具有很好的市场前景。据统计,我国市场年需求各种参数准分子激光总量在 100 台以上,随着我国半导体制造行业和平板显示行业的飞速发展, 准分子激光需求量仍将有较大幅度提高。
合作模式
可采用研究所与企业通过成果转让或技术入股等方式,共同推进该成果的产业化。
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(作者:佚名 编辑:admin)