超微水测量装置

成果简介

利用激光吸收光谱技术实现不同场合的超微量水汽在线原位测量。目前产品已经满足生产要求，成熟度较高。

在该方向已经申请发明专利和软件登记数十项，产品完全可以实现产业化生产。

主要技术指标

依据不同的使用条件和场合，技术指标略有不同。可以测量 ppm-%量级各类型需求。

应用领域

化工、半导体、电子、芯片加工等不同领域。市场前景

需求量大，经济和社会效益良好。

合作模式

可采用研究所与企业通过成果转让、技术入股及合作研发等方式，共同推进该成果的产业化。也可 OEM 提供核心部件。